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本实用新型公开了硅片刻蚀技术领域的一种硅片刻蚀带叶滚轮装置，包括底座，所述底座的顶部均匀开设有卡槽，所述底座的顶部均匀开设有第一固定螺孔，两组所述卡槽在两组第一固定螺孔之间，所述底座的顶部连接有挡板，所述挡板的底部均匀开设有压槽，所述挡板的...
该专利属于湖北天合光能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北天合光能有限公司授权不得商用。

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