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一种应力调控紫外多波长MSM光电探测器制造技术
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下载一种应力调控紫外多波长MSM光电探测器的技术资料
文档序号:19367025
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本实用新型涉及一种应力调控紫外多波长MSM光电探测器,利用外延于同一衬底上的两组完全应变超短周期超晶格结构完成紫外双波长的窄线宽探测,不仅极大地简化了双波段探测器件材料结构、生长过程及制备工艺,而且通过精确选择、高度集成,为多波长集成的彩色...
该专利属于厦门大学所有,仅供学习研究参考,未经过厦门大学授权不得商用。
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