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本发明一实施方式提供了一种乙硅烷的制备装置，包括过滤单元、第一精馏塔、第二精馏塔和反应器；其中，所述第一精馏塔与所述过滤单元相连，所述第二精馏塔与所述第一精馏塔相连，所述反应器与所述第二精馏塔相连。本发明一实施方式的装置，以多晶硅残液为原料...该专利属于洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳中硅高科技有限公司;中国恩菲工程技术有限公司授权不得商用。