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一种绝缘栅双极型半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:19348896
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本发明属于半导体器件的制造技术领域,涉及一种绝缘栅双极型半导体器件及其制造方法,在第一导电类型高浓度区内,设置有规则分布的第二导电类型柱区,其从第一主面延伸至第一导电类型高浓度区与低浓度区交界处;在相邻第二导电类型柱区间设置有第二导电类型体...
该专利属于无锡新洁能股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡新洁能股份有限公司授权不得商用。
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