温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明是一种氧化铝陶瓷基片表面加工方法，该方法包括基片的固定和粘贴，将基片和辅助二氧化硅薄片共同粘贴在陶瓷承载盘上；基片的磨削加工，砂轮以中间进给方式磨削基片去除材料；基片的研磨加工，采用固着磨料，去除磨削留下的砂轮印；基片的高速抛光，采用...
该专利属于苏州智能制造研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州智能制造研究院有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。