下载一种多功能半导体材料生产技术设备的技术资料

文档序号:19341156

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本发明公开了一种多功能半导体材料生产技术设备,包括装置主体、设置于所述装置主体内的研磨装置、设置于所述研磨装置下侧的筛选装置、设置于所述研磨装置左侧的运输装置以及设置于所述装置主体左右两侧下端的紧固装置,所述研磨装置包括设置于所述装置主体上...
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