下载晶体管版图结构、晶体管及制作方法的技术资料

文档序号:19324412

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本发明揭示了一种晶体管版图结构、晶体管及制作方法。所述版图结构包括半导体衬底、隔离结构、有源区及叉指栅极;其中,所述隔离结构位于所述半导体衬底中;所述有源区位于所述隔离结构中,所述有源区包括第一部分和多对相间隔的第二部分,每对第二部分分别位...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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