下载一种半导体器件及其制造方法和电子装置的技术资料

文档序号:19324408

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本发明涉及一种半导体器件及其制造方法和电子装置。所述半导体器件包括:第一晶圆,在所述第一晶圆中形成有接合凹槽,在所述接合凹槽的表面形成有接合材料层;第二晶圆,在所述第二晶圆上形成有金属柱,其中所述金属柱嵌入并填充所述接合凹槽。通过设置嵌入式...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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