下载用于制造纯度不同的氮气的氮气制造系统和该氮气制造方法的技术资料

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本发明的课题是提供抑制耗电量增加、同时用一个精馏塔制造含有期望浓度氧气的高纯度氮气和含有期望浓度氩气的超高纯度氮气的氮气制造系统和该制造方法。氮气制造系统具有用于将原料空气冷却的热交换器(H)、具有被导入经热交换器(H)被冷却了的原料空气的...
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