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一种自引阻尼真空隔膜阀，属于真空隔膜阀技术领域。包括隔膜腔、上膜腔、中膜腔，上壳体顶部与大气压或真空系统连接；中壳体底部设置真空通道、阻尼通道和至少一条大气通道，阻尼通道上端出口覆盖挡接设置阻尼块，阻尼块将中膜片压紧在中壳体底部内壁，中膜片...
该专利属于杭州电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过杭州电子科技大学授权不得商用。

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