下载多通道辉光放电潘宁离子源装置的技术资料

文档序号:19277908

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本发明公开了一种多通道辉光放电潘宁离子源装置,其包括水平方向的一端为进气端而相对的另一端为出气端的壳体及沿气流方向依次设置于壳体的内腔中的阴极盘、阳极蜂窝柱、气流加热室和推斥电极,壳体的进气端上设置有与壳体的内腔连通的载气通入管,阴极盘由陶...
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