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本实用新型涉及光伏领域，具体涉及一种用于制备钙钛矿层的装置，其包括：反应室；加热机构，承载并加热涂布后的基片；真空腔，使反应室真空；真空阀，关断真空腔；钝化气储罐，用于向反应室中输入钝化气；钝化气阀，关断钝化气储罐；钝化气排出机构，用于排出...该专利属于苏州协鑫纳米科技有限公司;苏州协鑫能源技术发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州协鑫纳米科技有限公司;苏州协鑫能源技术发展有限公司授权不得商用。