下载一种具有超疏水特性的金属/非金属复合薄膜的制备方法的技术资料

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本发明公开了一种具有超疏水特性的金属/非金属复合薄膜的制备方法,该方法对基底进行超声清洗和干燥处理,通过磁控共溅射技术制备金属/非金属复合结构薄膜,通过一定的非金属靶/金属靶功率比及沉积温度得到特殊的表面纳米结构,从而实现超疏水特性。本方法...
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