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本发明公开了一种基于高精度直线平移台的微位移传感器标定装置，包括调平支架、精密直线平移台、双频激光干涉系统、量块和微位移传感器固定块；所述精密直线平移台由所述调平支架支撑；所述微位移传感器固定块固接在所述调平支架上，在所述微位移传感器固定块...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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