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彩膜基板的制作方法技术
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文档序号:19249602
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本发明提供一种彩膜基板的制作方法,先在彩色滤光膜层上形成一层负型光刻胶材料的光刻胶层,然后从衬底基板的下方对所述光刻胶层进行背面曝光,使光刻胶层靠近衬底基板侧的部分固化,用于形成平坦化层,接着利用光罩从衬底基板的上方对光刻胶层进行正面曝光,...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。
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