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制造纳米棒的方法以及通过该方法制造的纳米棒技术
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文档序号:19247742
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提供了制造纳米棒的方法。制造纳米棒的方法包括以下步骤:提供生长衬底和支承衬底;在生长衬底的一面上使纳米材料层外延生长;在支承衬底的一面上形成牺牲层;使纳米材料层与牺牲层结合;从纳米材料层分离生长衬底;使纳米材料层平坦化;对纳米材料层进行蚀刻...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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