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公开使用基于光栅阵列的波前传感器对薄膜的表面轮廓和厚度测量实时监测的系统和方法。激光束入射至待在其上执行沉积的基板上且然后从基板反射的光束直接落到或在传输后落到光栅阵列上。特定衍射阶的衍射光束的方向是对应的光栅的方位和周期的函数。使衍射光束...该专利属于印度电子与信息技术部（DEITY);印度理工学院古瓦哈提分校所有，仅供学习研究参考，未经过印度电子与信息技术部（DEITY);印度理工学院古瓦哈提分校授权不得商用。