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在能够检测在冷却水的循环流路(10)上的位于比高频电源(3)的冷却部靠上游侧的位置的金属制的第一阀(13)结露所得到的水的位置配置水检测传感器(21)。另外，在利用冷却风扇从装置外吸入的空气遇到的位置配置第一阀(13)。通过第一阀(13)的...
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