下载鳍状结构的制造方法的技术资料

文档序号:19241307

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本发明公开一种鳍状结构的制造方法,包括在衬底上形成沿着第一方向延伸的图案化的触媒层与图案化的钝化层。图案化的钝化层位于图案化的触煤层上。在图案化的触媒层的至少一侧形成碳层。所述碳层包括沿着第一方向排列的多个空心碳管,其中每一空心碳管沿着第二...
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