下载多腔室压力感测设备的技术资料

文档序号:19239000

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本发明提供具有多个隔离的压力传感器的压力感测设备。该设备包括具有多个部段的基部盖部分,并且每个部段限定了开口。传感器定位在每个基部盖部分中,并且每个传感器的一部分暴露于相应的开口。凸缘基部联接到基部盖部分以限定多个分离的腔室,并且围绕基部盖...
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