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本发明提供一种直接接触型金属隔膜阀，其仅用很简单的构造，即使在高温流体流过的期间中将阀以1000万次水平开闭后，也能够良好地减少因树脂制阀座的老化变形带来的CV值变动，并且还具备较高的耐久性，很适合用于ALD工艺。技术方案是一种金属隔膜阀，...
该专利属于株式会社开滋SCT所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社开滋SCT授权不得商用。

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