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一种石墨烯-半导体双脊型混合表面等离子波导结构制造技术
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下载一种石墨烯-半导体双脊型混合表面等离子波导结构的技术资料
文档序号:19221728
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本实用新型公开了一种石墨烯‑半导体双脊型混合表面等离子波导结构,其特征是,包括自下而上顺序叠接的二氧化硅基底、二氧化硅缓冲层和高折射率半导体层,所述二氧化硅缓冲层中自下而上设有顺序叠接的脊型金属纳米层、矩形耦合层和倒脊型纳米层,脊型金属纳米...
该专利属于广西师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过广西师范大学授权不得商用。
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