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本发明公开了一种微型冷却单元及其集成方法和装置，该微型冷却单元包括硅基片和玻璃盖板，硅基片和玻璃盖板通过阳极键合形成内部流道；硅基片中间区域为冷却液流动换热区域，布置有由多个散热翅片组成的微通道阵列，冷却液流动换热区域两端分别为整流区，布置...
该专利属于中国电子科技集团公司第二十九研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第二十九研究所授权不得商用。

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