下载一种适用于微纳尺寸钛酸钡薄膜的转移印刷方法的技术资料

文档序号:19217730

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本发明公开了一种适用于微纳尺寸钛酸钡薄膜的转移印刷方法。主要步骤为:在钛酸锶(STO)基底上生长一层锰酸锶镧(LSMO)薄膜,再生长一层钛酸钡(BTO)薄膜。在上述BTO表面通过光刻得到BTO薄膜图形,再刻蚀掉LSMO层和BTO层,得到BT...
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