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基于石墨烯-硅波导的带宽可调光带通滤波器制造技术
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下载基于石墨烯-硅波导的带宽可调光带通滤波器的技术资料
文档序号:19214847
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本发明公开了一种基于石墨烯‑硅波导的带宽可调光带通滤波器,包括硅衬底、第一绝缘层、硅平板、波导层、调节层、第二绝缘层和相位调节器,第一绝缘层的材料和第二绝缘层的材料均为二氧化硅,第一绝缘层附着在硅衬底的上表面,硅平板附着在第一绝缘层的上表面...
该专利属于宁波大学所有,仅供学习研究参考,未经过宁波大学授权不得商用。
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