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一种表面等离激元波导可调谐光滤波器制造技术
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文档序号:19214581
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本发明公开了一种表面等离激元波导可调谐光滤波器,主要包括金属膜以及开设在金属膜上的多个狭缝结构单元,多个狭缝结构单元中的横向矩形狭缝开设在金属膜下端的三分之一处,纵向矩形狭缝开设在横向矩形狭缝中部上端并且相互垂直,圆盘狭缝开设在纵向矩形狭缝...
该专利属于桂林电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过桂林电子科技大学授权不得商用。
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