下载一种光学调焦机构中调焦距离测量装置及测量方法的技术资料

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本发明具体涉及一种光学调焦机构中调焦距离测量装置及测量方法,其解决了小型化、轻量化精密测量系统无法实现高精密测量大位移的问题。一种光学调焦机构中调焦距离测量装置,包括传感器组件;传感器组件包括电涡流传感器和菱形被测件;调焦移动镜框通过导轨与...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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