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本发明提供了一种柔性高效PECVD特气槽及其使用方法，特气槽包括左仓室4、右仓室7，所述左仓室4内设有左滚轴8，所述右仓室7内设有右滚轴5，所述左滚轴8以及所述右滚轴5之间缠绕着金属薄片1，所述金属薄片1围绕在反应腔室10的外侧，所述金属薄...
该专利属于承德石油高等专科学校所有，仅供学习研究参考，未经过承德石油高等专科学校授权不得商用。

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