下载一种钢基材表面Al2O3涂层的原子层沉积制备方法的技术资料

文档序号:19207311

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种钢基材表面Al2O3涂层的原子层沉积制备方法,首先用原子层沉积技术在钢基材表面沉积一层厚度合适的非晶的致密的Al2O3涂层,然后在保护气氛中用适宜的温度热退火处理得到结晶化的Al2O3陶瓷涂层。本发明的主要优点是:一是可以在...
该专利属于滁州国凯电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过滁州国凯电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。