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本发明提供用于输送含CO的掺杂物气体组合物的供应源。所述组合物包括控制量的稀释剂气体混合物例如氙气和氢气，其各自以控制的体积比率提供以确保最佳的碳离子注入性能。所述组合物可包装为由含CO的供应源和稀释剂混合物供应源组成的掺杂物气体套件。备选...
该专利属于普莱克斯技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过普莱克斯技术有限公司授权不得商用。

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