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一种薄膜制备方法及相应的二硫化钼薄膜和光电探测器技术
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下载一种薄膜制备方法及相应的二硫化钼薄膜和光电探测器的技术资料
文档序号:19191579
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本发明公开了一种薄膜制备方法、MoS2薄膜和光电探测器,所述方法利用激光脉冲轰击靶材,使靶材材料以等离子体的方式溅射出来,进而沉积在衬底表面,并通过原子间作用力相互吸附进而形成薄膜。所述薄膜优选为层状过渡金属二硫族化合物薄膜,特别是MoS2...
该专利属于北京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京邮电大学授权不得商用。
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