下载一种微流控剥蚀样品室的技术资料

文档序号:19190410

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本实用新型公开了一种微流控剥蚀样品室,所述样品室包括本体、间隔片、进气口、样品腔和出气口,所述本体上端形成有凹槽;所述间隔片设置在所述凹槽内部一侧,间隔条之间形成有气体流道;所述进气口设置在所述本体一侧,进气口连通所述气体流道;所述样品腔设...
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