下载铜铟镓硒化学水浴沉积CSD整体设备的技术资料

文档序号:19182695

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本发明公开了一种铜铟镓硒化学水浴沉积CSD整体设备。该铜铟镓硒化学水浴沉积CSD整体设备在主反应区内每个加热器上分别设置有温度传感器,可反馈加热器的温度,这样就可通过温度传感器和加热器来调控主反应区内的温度,同时主反应区末端设置有荧光光谱仪...
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