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本发明提供一种工业机器人，能改变供基板装载并且配置成在上下方向上重叠的多个装载部在上下方向上的间隔，并能容易地调节多个装载部各自在上下方向上的位置。在上述工业机器人中，基板装载机构包括：具有供基板装载并且配置成在上下方向上重叠的装载部(12...
该专利属于日本电产三协株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电产三协株式会社授权不得商用。

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