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本发明公开了一种表面轮廓扫描方法及其装置，该方法包含以下步骤：设定扫描区域，将一测试件设定为至少一扫描区与至少一移动区；执行扫描，一设于一扫描单元的一干涉物镜于该扫描区移动，以使该扫描单元于该扫描区对该测试件进行扫描，并得出一扫描信息，对该...
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