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本实用新型属于半导体芯片技术领域，公开了一种外延片托盘的旋转支撑装置。所述外延片托盘的旋转支撑装置包括设于反应腔内部的托盘，设于托盘下方的加热器，以及贯穿加热器内部的驱动轴，托盘上放置有多个外延片，托盘底部向下延伸有凸台，驱动轴的顶部设有与...
该专利属于中晟光电设备（上海）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中晟光电设备（上海）股份有限公司授权不得商用。

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