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本发明公开了一种钯纳米颗粒薄膜的制备工艺及其氢气传感器，包括如下步骤：首先准备六氟乙酰丙酮钯（Ⅱ）、福尔马林、石英玻璃基底、高纯氮和碳支持膜；在源1中放入六氟乙酰丙酮钯作为前驱体，源2中放入福尔马林作为前驱体，在真空环境下将前驱体脉冲交替通...
该专利属于江汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过江汉大学授权不得商用。

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