下载掩膜板及掩膜组件的技术资料

文档序号:19160370

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本发明涉及一种掩膜板及掩膜组件,所述掩膜板包括掩膜板主体;设置于所述掩膜板主体上的至少一个子掩膜板,所述子掩膜板包括蒸镀区和遮挡部;在所述子掩膜板的厚度方向上,所述蒸镀区设置有贯穿所述子掩膜板的第一蒸镀孔;所述遮挡部包括隔离区和虚设区,所述...
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