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一种IGBT器件制造技术
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下载一种IGBT器件的技术资料
文档序号:19154632
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本实用新型揭示了一种IGBT器件,半导体基板中心区设有元胞区,半导体基板的第一主面设有包围环绕元胞区的终端保护区,半导体基板的第二主面上方设有第二导电类型集电极区,第二导电类型集电极区的上方设有第一导电类型场终止层,元胞区内的元胞设有沟槽结...
该专利属于安徽赛腾微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽赛腾微电子有限公司授权不得商用。
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