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本发明公开了一种自动探针测试装置，包括：侧板、底板、探头支架和移动机构，所述侧板的底部一端与所述底板的一端相连，且所述底板用于放置待测器件，所述探头支架与所述移动机构的一端固定相连，所述移动机构的另一端沿着所述侧板的轴向方向滑动连接；所述探...
该专利属于中国科学院合肥物质科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院合肥物质科学研究院授权不得商用。

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