下载光学系统及其光学装置的技术资料

文档序号:19120687

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本发明提供一种光学系统及其光学装置,所述光学装置包括振镜和光束扩展器,所述光束扩展器包括第一透镜阵列,所述第一透镜阵列由多个第一透镜阵列排布而成,所述第一透镜为正透镜或负透镜,入射到所述振镜上的光束被所述振镜反射至所述第一透镜阵列上,反射至...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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