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本发明公开一种束流能量分析仪，包括：刮束器、聚焦电极、减速栅网、收集极以及快速束流变压器FCT。刮束器用于电子束刮束，使得少部分电子束通过刮束器，进入能量分析仪内部；减速栅网用于提供减速电场，以对进入能量分析仪内的电子进行减速，能量大于减速...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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