下载粒子表征的技术资料

文档序号:19119906

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本发明涉及粒子表征。一种用于粒子表征的装置(200)包括:用于保持样本(215)的样本室(210);被配置为用照射光束(230)照射样本(215)的光源(220)和多个光检测器(240,241,242),每个光检测器(240,241,242...
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