下载基板玻璃加工微环境洁净度控制系统的技术资料

文档序号:19119065

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及一种基板玻璃加工微环境洁净度控制系统,包括洁净空调,所述系统还包括局部换气装置,该装置包括抽气设备(1)和气管(3),所述气管(3)的一端与所述抽气设备(1)的进气口流体连通,所述气管(3)的管壁上开设有多个进气孔(4)。本公开提...
该专利属于郑州旭飞光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过郑州旭飞光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。