下载一种基于GaN-LED二次外延ITO的人字形波脊结构的SLD器件及其制备方法的技术资料

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一种基于GaN‑LED二次外延ITO的“人”字形波脊结构的SLD器件,其中,包括蓝宝石衬底和依次设在蓝宝石衬底上的u‑GaN缓冲层、Al‑GaN层、n‑GaN层,n‑GaN层上设有第一台阶结构和第二台阶结构,第一台阶结构包括设在n‑GaN层...
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