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高性能n型多孔硅的制备方法技术
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文档序号:19092273
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高性能n型多孔硅的制备方法,包括:分别采用丙酮、无水乙醇、氢氟酸溶液、由NH3·H2O、H2O2和H2O组成的碱洗液、以及由HCl、H2O2和H2O组成的酸洗液浸泡处理单晶硅片;再使用氢氟酸和N,N‑二甲基乙酰胺(DMAC)的电解液体系对单...
该专利属于重庆大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆大学授权不得商用。
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