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本发明提供一种全口径抛光过程中元件所受抛光摩擦力的测量装置。抛光摩擦力的测量装置,包括多个应力测试部件,所述应力测试部件包括U形夹板,在所述U形夹板上设置有应力传感器,在所述应力传感器上设置有信号传输线和承载接触块,所述信号传输线与信号接收...该专利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院激光聚变研究中心授权不得商用。
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