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本公开的技术一般涉及用于例如执行开关功能的相关电子材料的制造。在实施例中，气态形式的前驱物可用在腔室中以构建包含各种阻抗特性的相关电子材料膜。...
该专利属于ARM有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ARM有限公司授权不得商用。

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