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本发明实施例提供了一种化学水浴沉积设备和工艺，包括：所述加热装置分别通过管道与所述反应装置及所述泵送装置连接；所述泵送装置通过所述管道与所述反应装置连接；所述反应装置用于容纳反应液，使基板在反应液中沉积出CdS膜层；所述反应装置至少包括一个...
该专利属于北京铂阳顶荣光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京铂阳顶荣光伏科技有限公司授权不得商用。

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