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一种电子束辐照诱导锗锑碲材料晶化的方法技术
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文档序号:19076576
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本发明公开了一种电子束辐照诱导锗锑碲材料晶化的方法,包括:选择能够进行微观结构表征、电学性能测试或原位性能测试的衬底制备锗锑碲非晶薄膜;对制备锗锑碲非晶薄膜的衬底进行电镜样品预处理;在电镜样品中寻找锗锑碲非晶薄膜表面干净平整的区域;通过在电...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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